Критические области применения в полупроводниковой промышленности
Гидроксиламин электронного класса от компании Canchem является важнейшим восстановителем и чистящим компонентом для индустрии логических микросхем и микросхем памяти. Благодаря нашим интеллектуальным заводам и строгому контролю качества, мы предлагаем стабильную альтернативу крупным мировым поставщикам.
- Удаление остатков после травления (PERR): Эффективен на твердых масках из нитрида титана (TiN) и межсоединениях Al/Cu.
- CMP Post Clean: Удаляет частицы коллоидного диоксида кремния и оксида церия, не повреждая поверхность пластины.
- Удаление фоторезиста: Совместим с различными составами для удаления примесей на передовых технологических узлах (14 нм, 7 нм).
Конкурентные преимущества
Мы работаем в соответствии с высокими стандартами и используем полный комплекс систем управления. Наша компания более десяти лет специализируется на производстве и реализации продукции серии гидроксиламинов, а соответствующий производственный опыт гарантирует стабильность цепочки поставок.
Мы достигли полной интеллектуальной производственной системы благодаря интеграции APC (Advanced Process Control), MES (Производственная информационная система), LIMS (Лабораторная информационная система), и SAP-ERP
Высокая степень автоматизации включает в себя системы онлайн-обнаружения и блокировки безопасности для устранения эксплуатационных рисков. Внедряя принцип "нулевой ручной обработки", мы обеспечиваем стабильное качество от партии к партии и искробезопасность оборудования.
Высокая степень автоматизации включает в себя системы онлайн-обнаружения и блокировки безопасности для устранения эксплуатационных рисков. Внедряя принцип "нулевой ручной обработки", мы обеспечиваем стабильное качество от партии к партии и искробезопасность оборудования.
Контроль сырья: Основное сырье производится собственными силами, чтобы избежать риска загрязнения на этапе производства.
Запатентованное разделение: Разработанная нами технология очистки обеспечивает высокоточное разделение примесей.
Технологическая безопасность: В отличие от традиционных агрессивных процессов, наш метод является щадящим и контролируемым. Все поверхности, контактирующие с материалом, проходят строгую проверку на предмет предотвращения риска разложения, что гарантирует абсолютную безопасность во время производства и транспортировки.
Запатентованное разделение: Разработанная нами технология очистки обеспечивает высокоточное разделение примесей.
Технологическая безопасность: В отличие от традиционных агрессивных процессов, наш метод является щадящим и контролируемым. Все поверхности, контактирующие с материалом, проходят строгую проверку на предмет предотвращения риска разложения, что гарантирует абсолютную безопасность во время производства и транспортировки.
Мы первыми внедрили в стране экологически чистую цепочку замкнутого цикла производства "оксим-силил-гидроксиламиновой соли". Этот инновационный процесс обеспечивает безотходную переработку побочных продуктов, соответствующую мировым стандартам ESG.