半導体における重要なアプリケーション
Canchemの電子グレードヒドロキシルアミンは、ロジックおよびメモリチップ業界にとって重要な還元剤および洗浄成分です。当社のインテリジェントな工場と厳格な品質管理を活用して、世界の主要サプライヤーに安定した代替品を提供しています。
- エッチング後残留物除去(PERR): TiNハードマスクおよびAl/Cu配線に効果的
- CMP後洗浄: ウェーハ表面を傷つけずにコロイドシリカとセリア粒子を除去します
- フォトレジスト剥離: 先端ノード(14nm、7nm)向けのさまざまな剥離処方に対応
競争上の優位性
当社は、高い基準と完全な管理システムで運営しています。当社は、10年以上にわたりヒドロキシルアミンシリーズ製品の製造と運用に特化しており、関連する製造経験によりサプライチェーンの安定性を確保しています。
私たちは、統合することで完全なインテリジェント製造を実現しました。 APC(高度プロセス制御), MES(生産情報システム), LIMS(ラボ情報システム)、 そして SAP ERP
この高度な自動化には、オンライン検出システムと安全インターロックが含まれており、運用上のリスクを排除します。「手動変換ゼロ」を実装することで、バッチ間の一貫した品質と機器の本質的な安全性を確保します。
この高度な自動化には、オンライン検出システムと安全インターロックが含まれており、運用上のリスクを排除します。「手動変換ゼロ」を実装することで、バッチ間の一貫した品質と機器の本質的な安全性を確保します。
原材料管理: 主な原材料は、供給源での不純物リスクを回避するために自社生産しています。
特許取得済みの分離: 独自開発の精製技術により高精度な不純物分離を実現
プロセス安全性: 従来の暴力的なプロセスとは異なり、当社の方法は穏やかで制御可能です。すべての材料接触面は分解のリスクを防ぐために厳密に検証されており、製造および輸送中の絶対的な安全性を確保しています。
特許取得済みの分離: 独自開発の精製技術により高精度な不純物分離を実現
プロセス安全性: 従来の暴力的なプロセスとは異なり、当社の方法は穏やかで制御可能です。すべての材料接触面は分解のリスクを防ぐために厳密に検証されており、製造および輸送中の絶対的な安全性を確保しています。
当社は国内の「オキシム-シリル-ヒドロキシルアミン塩」グリーン循環産業チェーンの先駆者です。この革新的なプロセスは、副産物の廃棄物ゼロリサイクルを実現し、世界的なESG基準に準拠しています。